Описание
Инспекционные микроскопы Nikon серии ECLIPSE L200, предназначены для изучения и контроля качества интегральных схем на полупроводниковых пластинах, и представлены в двух исполненях:
L200N и L200ND
Отличительные особенности этих моделей состоят в системах освещения, которыми оснащены данные модели
Микроскоп Nikon ECLIPSE L200N оптимизирован для задач изучения полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при коаксиальном ЭПИ-освещении.
Микроскоп Nikon ECLIPSE L200ND оптимизирован для задач изучение полупроводниковых пластин диаметром до 200 мм при коаксиальном ЭПИ-освещении, а также с применением метода проходящего освещения.
Функции и рабочие характеристики
- Микроскоп L200ND позволяет осуществлять наблюдения при диаскопическим освещении с использованием различных методик: светлое и темное поле, простая поляризация и DIC (дифференциально-интерференционный контраст). Кроме того, имеется возможность осуществления эпифлуоресцентной микроскопии, в том числе с применением УФ-возбуждения при длине волны 365 нм.
- Высокая эффективность микроскопии полупроводников и органического электролюминесцентного материала.
Тринокулярный тубус с регулируемым углом наклона позволяет осуществлять наблюдение на оптимальном для наблюдателя уровне
Контроль прецизионного движения по оси X-Y
- Прецизионное устройство управления движением по оси X-Y размещается вблизи оператора.
- Все устройства управления располагаются рядом друг с другом, что облегчает перемещение предметного стола и выполнение фокусировки.
Универсальная револьверная головка с ручным переключением
- Возможность установки до 6 объективов.
- Центровка позволяет свести к минимуму смещение изображения при смене объектива даже при работе с большим увеличением. Изображение остается стабильным при любом увеличении.
- Защитный механизм, который активируется при повороте револьверной головки, защищает глаз оператора от воздействия вспышки.
Мишени для фокусировки
Возможность установки фокусировочной мишени в оптическом пути позволяет легко и точно сфокусировать систему на образец с низкой контрастностью, например, на полупроводниковую пластину.
Управление вынесено на переднюю панель
- Основные органы управления размещаются на передней панели микроскопа, что облегчает доступ к ним.
- Можно быстро управлять микроскопом не отрываясь от просмотра образцов.
