Микроскоп Leica DM12000

В наличии

Прямой ультрафиолетовый микроскоп Leica DM12000 для контроля качества полупроводниковых пластин в микроэлектронике.

Описание

Технические характеристики ультрафиолетового микроскопа Leica DM12000
Оптические возможности

Разрешение системы достигает 160 нм благодаря комбинации УФ-освещения (365 нм) и косого освещения, что позволяет проводить высокоточные исследования микроструктур.

Основные параметры
  • Размер образцов: поддержка пластин до 8″ (200 мм) и 12″ (300 мм)
  • Диапазон увеличения: от 7× до 1500× (с возможностью расширения до 3000×)
  • Объективы: набор полуапохроматических и апохроматических объективов (0.7×, 10×, 20×, 50×, 100×, 150×)
Система освещения
  • Источники света: интегрированная светодиодная подсветка с ресурсом работы до 20 000 часов
  • Методы контрастирования:
    • светлое и темное поле
    • поляризация
    • дифференциально-интерференционный контраст (ДИК)
    • УФ-освещение (UV и OUV)
    • наклонное освещение
    • макрорежим
    • ИК-освещение
  • Режимы работы: проходящий и отраженный свет
Конструкция предметного столика

Версия DM8000:

  • Ручной столик: размер 8″, ход 202×202 мм, возможность вращения
  • Моторизованный столик: размер 8″, ход 202×202 мм, разрешение XY 0.01 мкм, скорость 240 мм/с

Версия DM12000:

  • Ручной столик: размер 12″, ход 302×302 мм, возможность вращения
  • Моторизованный столик: размер 12″, ход 302×302 мм, разрешение XY 0.01 мкм, скорость 240 мм/с
Дополнительные возможности
  • Держатели образцов: поддержка пластин 6-8″ и 8-12″ с опцией вакуумного крепления
  • Программное обеспечение:
    • геометрические измерения
    • создание панорамных изображений
    • работа с увеличенной глубиной фокуса
  • Рекомендуемые модули:
    • линейный измерительный модуль
    • система автофокуса
    • модуль панорамной съемки XY